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圆片周边厚度自动激光测厚仪研发:尊龙体育
来源:尊龙体育官网|娱乐平台官方网站    发布时间:2021-03-03 20:14:02
本文摘要:第二章接触式测厚仪采用进口圆筒型接触式传感器测量带材壁厚。

第二章接触式测厚仪采用进口圆筒型接触式传感器测量带材壁厚。主要用于各种板材的测厚、在线检测和离线检测,并能与计算机建立自动反馈控制和在线通讯。1.基本原理整个设备配备:测量主机(包括上下探头)、q电机(可选)、外部显示屏(可选)、报警装置等。

明确操作步骤:将晶圆放在可旋转的测量台上,在测量台上下各布置一对激光探头,手动(或自动)旋转圆盘一圈,测量晶圆周围的厚度,当远远超过原厚度标准值时,设备会报警。该设备配有显示屏,可以动态观察测量数据。

2.主要功能是动态测厚,测量速度快;外部操作员按钮,数据外部屏幕显示,现场操作员更方便;校准功能,当测量误差过大时,将其放入标准量块进行校准,恢复精度;3.用于长时间开机前检查定位架,确保托槽型号与待测盘一起给定;通电时,设备指示主界面,定位架不应处于松开位置;将待测光盘放在旋转架上,伸出定位架;按下触摸屏上的绿色按钮或测量键,定位架打开,将碟片卖到测量位置,架开始转动,同时设备开始测量;测量结果显示在屏幕上,同时统计本次测量的最大值和最小值;当测量值远远超出原测量范围时,设备报警;当转台旋转一周时,测量结束。您也可以在测量过程中使用绿色按钮暂停测量。

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4.异常处理4.1。旋转时,测点不出盘边的设备原来用电磁铁控制定位架前端,但电磁铁振动过大,导致设备不稳定。现在用凸轮的转动来控制定位架的前端。前端点在凸轮的最大值和最小值。

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如果在运输过程中,由于设备的振动,凸轮偏离了方向,在切断电源时,可以将定位架推到前面。将定位框放在最里面的位置。

4.2。忽略定位框的移动方向。

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如果测量时释放定位架,悬挂时打开定位架,主张解释运动方向。这时可以在页面上“测量”,测量时释放定位架,重启设备电源。通电重新启动,则定位架处于松动状态,设备可以长期使用。

结论LPBH60.2接触式测厚仪可用于检测晶片和平板的厚度尺寸,测量晶片圆周的厚度尺寸。晶圆的转速可以调节,可以方便工人测量,有助于提高质量,减少工作量,提高效率和质量。


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